SONOTEC als Aussteller auf der SEMICON West 2025

SONOTEC feiert auf der SEMICON West 2025 seine Premiere als Aussteller im German Pavillon. Der Ultraschallspezialist präsentiert seine hochpräzisen SEMIFLOW-Sensoren und Luftblasendetektoren, die speziell für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterfertigung entwickelt wurden. Diese Sensoren bieten innovative Lösungen für die berührungslose Durchflussmessung von Flüssigkeiten in der Fab.

Highlights der SEMIFLOW-Sensoren

• Berührungslose Messung: Die Clamp-On-Architektur verhindert Kontamination und Leckagen, ideal für hochsensible Halbleiterprozesse.
• Vielseitigkeit: Zuverlässige Messung abrasiver, anhaftender, korrosiver und ultrareiner Flüssigkeiten auf PFA-, PTFE- und anderen harten Kunststoffrohren.
• Kompaktes Design: Integrierte Elektronik und platzsparende Bauweise ermöglichen eine einfache Integration in bestehende Prozessketten.
• Wartungsfreiheit: Verschleißfreies Messverfahren und robustes Material für eine lange Lebensdauer.
• Energieeffizienz: Minimaler Stromverbrauch unterstützt nachhaltige Produktionsstrategien.
• Breite Anwendbarkeit: Verschiedene Sensorgrößen decken ein umfassendes Spektrum an Rohrdurchmessern ab.

Bedeutung für die Halbleiterindustrie

„Die Echtzeitüberwachung von Durchflussraten in nasschemischen Prozessen ist entscheidend, um kritische Prozessparameter zu stabilisieren, die Produktqualität zu sichern und den Ertrag zu maximieren. Unsere berührungslosen Sensoren minimieren Verunreinigungen und Ausfallzeiten, was erhebliche Kostenvorteile bringt“, erklärt Anika Baumhauer, Internationale Strategie- und Vertriebsmanagerin bei SONOTEC.

Eigensichere Sensoren für Ex-Bereiche

Für den Einsatz in explosionsgefährdeten Umgebungen bietet SONOTEC die SEMIFLOW CO.66 PI Ex1-Serie. Diese eigensicheren Durchflussmesser sind für Zone-1-Bereiche nach ATEX/IECEx zertifiziert und geschützt gegen Explosionsgefahren durch Gase und Dämpfe (Gasgruppe IIB, Geräteschutzgrad „Gb“).

Anwendungen

Die SEMIFLOW-Sensoren eignen sich besonders für:

• Überwachung und Messung des Transfers, der Verteilung und der Füllstände von Chemikalien und Reinstwasser.
• Kostenoptimierung durch präzise Echtzeitüberwachung in nasschemischen Prozessen.
• Nachhaltigkeit durch geringen Energieverbrauch und lange Produktlebenszyklen.

Besuchen Sie SONOTEC

Treffen Sie das SONOTEC-Team vom 7. bis 9. Oktober 2025 am Stand #1261-14 im German Pavillon auf der SEMICON West in Phoenix. Erfahren Sie mehr über die innovativen Lösungen für die Halbleiterfertigung und entdecken Sie, wie SONOTEC Ihre Prozesse optimieren kann.