Membrapor freut sich, den neuen HF/CI-10 Sensor zu präsentieren. Mit einer Empfindlichkeit von 600 nA/ppm und schneller Reaktionszeit erkennt er selbst geringste Spuren im Bereich des MAK-Werts zuverlässig. Fluorwasserstoff, ein zentraler Bestandteil in der Wafer-Produktion für Ätz- und Reinigungsprozesse, erfordert aufgrund seiner hohen Toxizität und Korrosivität eine präzise Überwachung, die dieser Sensor gewährleistet.
Fluorwasserstoff-Gassensor HF/CI-10
HF-Gassensor in kompaktem Gehäuse
Hauptmerkmale
- Hohe Empfindlichkeit
Anwendungen
- Sicherheit und Prozesskontrolle
- Kontinuierliche Überwachung der Luftqualität
| Eigenschaft | Wert |
|---|---|
| Messprinzip | 3-Elektroden-Elektrochemisch |
| Nomineller Messbereich | 0 – 10 ppm |
| Maximale Überlast | 20 ppm |
| Integrierter Filter | – |
| Ausgangssignal | 600 ± 200 nA/ppm |
| Auflösung (abhängig von Elektronik) | < 0,1 ppm |
| T80 Reaktionszeit | < 60 s |
| Typischer Nullpunktbereich (reine Luft, 20°C) | -0,5 ppm bis 0,5 ppm |
| Wiederholgenauigkeit | < 2 % des Signals |
| Linearität des Ausgangs | Linear |
Kontakt
MEMBRAPOR AG
Birkenweg 2
8304 Wallisellen
Schweiz
Tel: +41 43 311 72 00
E-Mail: info@membrapor.ch
Web: https://www.membrapor.ch