Drücke auf kleinstem Raum messen mit der Druckmesszelle SM30F

Für die Druckmessung in Geräten mit hohen Stückzahlen sind Druckdies ideal, da sie sich besser als gehäuste Sensoren in beengte Bauräume einfügen lassen. Zudem ermöglichen sie eine vollständige Kontrolle des Aufbaus durch den Hersteller, was insbesondere für sterile Anwendungen in der Medizintechnik entscheidend ist. AMSYS bietet neben Sensoren in Kunststoff- oder Keramikgehäusen auch reine mikromechanische Druckmesszellen auf Siliziumbasis (MEMS) an.

Silizium-MEMS haben mechanische Messaufnehmer mit elastischen Polymermembranen weitgehend abgelöst und sich in Bereichen wie Belüftungstechnik (HVAC), Medizintechnik und Automobilindustrie millionenfach bewährt. Ihre Vorteile liegen in ihrer Kompaktheit, Stabilität und Kosteneffizienz.

Seit über 25 Jahren vertreibt AMSYS Druckmesszellen und -sensoren von Silicon Microstructures, Inc. (SMI), das mittlerweile Teil von TE ist. Das Sortiment umfasst alle Druckarten und -bereiche, darunter Differenz-, Relativ- und Absolutdruckmesszellen, letztere auch für anspruchsvolle Umgebungen. Besonders hervorzuheben ist der rückseitenbeaufschlagte SM97A für 10, 20 und 50 bar.

Der vorgestellte SM30F eignet sich zur Messung mittlerer Relativ- und Differenzdrücke von unter 5 psi bis 150 psi (ca. 350 mbar – 10 bar). Die Chips, erhältlich mit offener oder geschlossener Messbrücke, bieten ein Ausgangssignal von typischerweise 80 mV (30 psi, 150 psi) bzw. 90 mV (5, 15, 80 psi).

Ab einem Druckbereich von 15 psi zeichnet sich der SM30F durch eine gleichbleibend niedrige Nichtlinearität von typ. ±0,1 % der Spanne aus, sowohl bei Vorder- als auch Rückseitenbeaufschlagung. Dies macht ihn ideal für Relativdruckmessungen, bei denen das Medium nur die Silizium-Rückseite berührt, wodurch Messungen an leitfähigen oder leicht korrosiven Flüssigkeiten problemlos möglich sind.

Das AMSYS-Angebot wird durch den Differenzdruckdie SM9520 für niedrige Drücke (10–100 mbar) und den ultrakompakten Absolutdruckdie SM5108E für 30, 60 und 100 psi (2, 4, 7 bar) ergänzt. Für höhere Druckbereiche bietet AMSYS robuste keramische Messzellen. Die große Auswahl erfordert oft eine Beratung durch Sensorspezialisten, um die optimale Lösung für den jeweiligen Anwendungsfall zu finden.